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已知一个圆如何找圆心 如何准确找到晶圆的圆心?

2022-04-16 10:34:04    来源:知乎日报

芯片制造过程中,有时候需要比较准确的找到晶圆的圆心。这就是个挺麻烦的事。

因为晶圆本身对洁净度的要求,所以也没办法去添加辅助线去找到它的圆心。

而且因为加工工艺关系,晶圆也不能保证是足够圆的(圆度不为 0),所以也不能边界找三个点确定圆心。

于是,就有了各种机械对中的结构,试图通过晶圆外轮廓确定它的圆心。

还有这样的:但是,由于加工精度等等原因,这种对准精度往往不是特别高。

于是有些又通过视觉的方法,先对晶圆拍张照,然后通过找到图像中圆心的方法去获取晶圆圆心(当然相机物理位置要标定的)。

但是,对于 6、8、12 寸以及直径更大的晶圆,就需要一个比较高的空间,让相机有足够的物距来得到足够的视野。这时候很多对空间有要求的场景就不能用了。于是,大家又想干脆直接让晶圆旋转去找它的轮廓得了。

有一种思路是想着直接用相机拍晶圆的外轮廓,晶圆旋转着,每次拍一段。这样分段获取晶圆外轮廓。还有一种思路是想着用光学传感器,上面用光照射扫描它的边界:这样只要下面负责接收光线的传感器(CCD)精度够高,那得到的边缘点的精度就比较高,找到的圆心精度就会高一些。

但这样得到的数据就是不同角度下,传感器被遮挡的长度。到了这步,怎么计算圆心就是个问题了。

关键词: 晶圆的圆心 加工精度 光学传感器 圆心精度

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