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晶瑞电材是否拥有KrF光刻机? 是否具备批量生产KrF光刻胶条件

2021-12-15 14:34:00    来源:爱集微

有投资者向晶瑞电材提问,晶瑞电材是否拥有 KrF 光刻机? 是否具备批量生产 KrF 光刻胶的条件?

晶瑞电材表示,公司近期已购得 KrF 光刻机一台,可用于 KrF 光刻胶的曝光测试,同时公司 KrF 光刻胶量产化生产线正在积极建设中。

关于公司的主导产品,晶瑞电材表示,公司的主导产品包括光刻胶及配套材料、超净高纯试剂、锂电池材料和基础化工材料等,广泛应用于半导体、新能源、基础化工等行业,主要应用到下游电子产品生产过程的清洗、光刻、显影、蚀刻、去膜、浆料制备等工艺环节。公司专业从事微电子化学品的产品研发、生产和销售。公司经过多年研发和积累,超净高纯试剂主要产品达到国际最高纯度等级(G5),打破了国外技术垄断,制定了多项行业标准;被中国电子材料行业协会评为“中国电子化学品十强企业”,光刻胶产品规模化生产近 30 年,达到国际中高级水准,是国内最早规模量产光刻胶的少数几家企业之一。

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